一种微小径工模具纳米涂层装置结构
授权
摘要
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，且公开了一种微小径工模具纳米涂层装置结构，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室左侧的顶部与底部均连通有与其固定连接的引出直管，两个所述引出直管的左侧均固定连接有弯管，两个所述弯管远离引出直管的一端均固定连接有固定靶座，两个所述固定靶座相对的一侧均固定连接有电弧源，两个所述弯管的外侧均套设有与其固定连接的水冷管道，两个所述水冷管道的外侧均绕设有与其固定连接的稳弧线圈，两个所述水冷管道的外侧均绕设有与其固定连接的聚焦线圈。该实用新型，解决了不能明显改善液滴现象，导致膜层的大颗粒太多，会严重影响微小径工模具的使用特性的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种微小径工模具纳米涂层装置结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922170659.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-06
授权号 ：
CN211334202U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
邹杨孙蕾邹松东
申请人 ：
洛阳奥尔材料科技有限公司
申请人地址 ：
河南省洛阳市涧西区浅井头一街坊7幢2-402室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922170659.2
主分类号 ：
B29C33/38
IPC分类号 ：
B29C33/38 C23C14/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B29
塑料的加工；一般处于塑性状态物质的加工
B29C
塑料的成型连接；塑性状态材或料的成型，不包含在其他类目中的；已成型产品的后处理，例如修整
B29C33/00
模型或型芯；其零件或所用的附件
B29C33/38
以材料或制造工艺为特征的
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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