真空镀膜阴极组件及其排水泄压装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜阴极组件及其排水泄压装置。该排水泄压装置中：冷却水进水管的一端用于与阴极水槽的进水口连接，另一端与第一转换阀的第一接口连接，第一转换阀的第二接口连接用于连接冷却水源的水源连接管路，第一转换阀的第三接口连接用于连接气源的供气管路；冷却水回水管的一端用于与阴极水槽的回水口连接，另一端与第二转换阀的第四接口连接，第二转换阀的第五接口连接用于连接回水收集装置的回水连接管路，第二转换阀的第六接口连接排放管路。本实用新型提供的排水泄压装置和真空镀膜阴极组件，能够在需要的时候将阴极水槽内的冷却水排出，从而能够保证冷却铜背板始终保持常态，不会在拆靶换靶时因水压较大而鼓起变形。

基本信息

专利标题：

真空镀膜阴极组件及其排水泄压装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922202918.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-10

授权号：

CN211227311U

授权日：

2020-08-11

发明人：

易伟华张迅郑芳平徐彬彬洪华俊余蓉

申请人：

江西沃格光电股份有限公司

申请人地址：

江西省新余市高新技术产业开发区西城大道沃格工业园

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

王小清

优先权：

CN201922202918.5

主分类号：

C23C14/32

IPC分类号：

C23C14/32