旋转阴极排水装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型提供一种旋转阴极排水装置。该排水装置包括进水轴和出水轴,进水轴和出水轴相互连接,进水轴内开设有进水通道,进水通道内用于容置旋转阴极和冷却水;出水轴内开设有出水通道,出水轴内还设置有开关结构,开关结构设置在进水通道和出水通道的对接处,开关结构能控制出水通道开启和关闭,以控制冷却水从出水通道排出。该排水装置通过设置出水轴,并在出水轴内设置出水通道和开关结构,能够方便地控制出水通道的开启和关闭,从而在更换靶材时方便地控制该排水装置排水,该排水装置排水时无需进行管路拆卸,操作简便,且该排水装置结构简单,易于操作,不仅提高了旋转阴极排水装置的排水效率,而且提高了靶材的更换效率。
基本信息
专利标题 :
旋转阴极排水装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920781850.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-28
授权号 :
CN210001923U
授权日 :
2020-01-31
发明人 :
崔振宇
申请人 :
东泰高科装备科技有限公司
申请人地址 :
北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
代理机构 :
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 :
彭瑞欣
优先权 :
CN201920781850.8
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2021-02-23 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/35
登记生效日 : 20210204
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 东泰高科装备科技有限公司
变更后权利人 : 紫石能源有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 102200 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
变更后权利人 : 102208 北京市昌平区育知东路30号院1号楼6层3单元611
登记生效日 : 20210204
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 东泰高科装备科技有限公司
变更后权利人 : 紫石能源有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 102200 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
变更后权利人 : 102208 北京市昌平区育知东路30号院1号楼6层3单元611
2020-01-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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