一种阴极旋转电沉积装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种阴极旋转电沉积装置，包括阴极挂板、阴极、阳极、电沉积电源、循环泵，电镀外槽、驱动电机、联轴器、旋转轴、轴承‑轴承座组件和滤网；电镀外槽设有隔液区、暂存区、内槽底座、内槽、过滤区、循环出液孔和循环进液孔；内槽固定安设于内槽底座上，且与旋转轴配合联接的壁面设有内槽出液孔，位于过滤区一侧的壁面设有溢流口；溢流口的高度高于内槽出液孔的高度；驱动电机固定安设于隔液区内；旋转轴的一端通过联轴器与驱动电机的输出轴同轴线联接，另一端与轴承‑轴承座组件配合联接，且依次穿过隔液区的壁面和内槽的壁面并伸入内槽；滤网固定安设于过滤区内；循环出液孔和循环进液孔齐平，并通过循环泵联接。

基本信息

专利标题：

一种阴极旋转电沉积装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921884078.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-05

授权号：

CN210886285U

授权日：

2020-06-30

发明人：

孔泽宇刘凯瑞王日鑫

申请人：

河南理工大学

申请人地址：

河南省焦作市高新区世纪大道2001号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921884078.9

主分类号：

C25D17/02

IPC分类号：

C25D17/02 C25D17/12 C25D21/10 C25D21/06 C25D5/04