磁控溅射旋转阴极

授权

摘要

本实用新型公开了磁控溅射旋转阴极，包括安装座、外接管、内接管和固定座，所述外接管一端与安装座旋转连接，另一端经一靶管与固定座旋转连接，所述内接管一端固定在安装座上，另一端经一芯管与固定座连接，所述的固定座呈圆盖状，其盖口沿边上设置有一圈安装槽，所述靶管即插入安装槽，所述固定座的底部设置有一环形槽，所述靶管的内壁上设置有螺旋状的导水槽。本实用新型具有的优点是将冷却水流道转向处，即芯管、靶管和固定座三者连接处，设计成散射状的曲道，方便冷却水的流动，使得冷却水不易积压，该处不会有过大的水压，并且靶管上的螺旋槽，在旋转时，产生一定的负压，将连接结构处的冷却水吸走，进一步降低了连接处的水压。

基本信息

专利标题：

磁控溅射旋转阴极

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021898898.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-03

授权号：

CN213086094U

授权日：

2021-04-30

发明人：

李忠

申请人：

成都齐荣科技有限公司

申请人地址：

四川省成都市经济技术开发区(龙泉驿区)星光西路24号实德工业园

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021898898.6

主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/35