一种用于旋转阴极的磁棒
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摘要

本实用新型公开了一种用于旋转阴极的磁棒,包括芯管和底座,所述的底座呈平板状,通过螺钉安装在芯管上,底座的延伸方向与芯管一致,所述螺钉贯穿芯管与底座连接,所述螺钉的螺杆位于芯管管内的部位布置有一排通水孔,所述通水孔的延伸方向垂直于螺杆,通水孔的排列方向与螺杆的延伸方向一致,所述芯管的内壁上设置有螺旋状的流水槽,所述底座上安装有若干个磁钢组,所述磁钢组沿底座的延伸方向排列。本实用新型具有的优点是将贯穿芯管的螺钉上设置有通水孔,通水孔朝向流水方向时,芯管内冷却水流量得到增加,并且芯管的内壁上设置螺旋状的流水槽,水流通中,产生涡流,加快冷却水的流速,整体上增加了流水量,提高了冷却效果。

基本信息
专利标题 :
一种用于旋转阴极的磁棒
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021920519.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-04
授权号 :
CN213113479U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
李忠
申请人 :
成都齐荣科技有限公司
申请人地址 :
四川省成都市经济技术开发区(龙泉驿区)星光西路24号实德工业园
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021920519.9
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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