一种易调节的阴极磁棒
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摘要
本实用新型公开了一种易调节的阴极磁棒，包括芯管和磁体组件，所述磁体组件包括安装座和底板，安装座通过调节螺母安装在芯管上，安装座背向芯管的端面设置有导槽，底板安装在导槽内，所述的调节螺母包括外螺母和内螺母，所述的外螺母贯穿芯管与安装座螺纹连接，所述内螺母从外螺母的螺帽处，沿外螺母的轴向，依次贯穿外螺母、安装座与底板可旋转连接。本实用新型具有的优点是磁体组件，设计为安装座和底板结构，安装座固定在芯管上，底板则可以在安装座的导槽内进行移动，并通过一个内螺母进行调节，可以调节磁钢与外部靶材之间的间距，在靶材变薄后，停止加工，打开靶管后，通过调节螺母调节底板到合适距离后，再次进行加工，保证了镀膜均匀。
基本信息
专利标题 ：
一种易调节的阴极磁棒
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021952218.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-08
授权号 ：
CN213624355U
授权日 ：
2021-07-06
发明人 ：
李忠
申请人 ：
成都齐荣科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市经济技术开发区(龙泉驿区)星光西路24号实德工业园
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021952218.4
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-07-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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