一种高散热的旋转阴极
授权
摘要
本实用新型公开了一种高散热的旋转阴极，包括驱动装置和管状靶；所述的驱动装置包括主支撑管、外套管和底架；所述的主支撑管上依次套设有上骨架密封、上连接轴承、从动轮、下连接轴承、下骨架密封和呈法兰状的铜导体；所述的主支撑管的末端设有散热鳍片，所述的散热鳍片呈圆环状设于主支撑管的末端；所述的从动轮通过皮带与电机的输出轴相连，所述的主支撑管的外壁通过上、下连接轴承与外套管的内壁相连；所述管状靶的尾部与主支撑管的头部相连。本装置用于旋转阴极运动过程中驱动装置处的散热，并可显著提高主支撑管的散热能力，从而提高机构的稳定性与使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种高散热的旋转阴极
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921114633.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-17
授权号 ：
CN210560709U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
匡国庆
申请人 ：
镇江市德利克真空设备科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省镇江市扬中市新材料工业园兴旺大道
代理机构 ：
镇江基德专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
邓月芳
优先权 ：
CN201921114633.X
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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