一种热电堆红外探测器
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摘要
一种热电堆红外探测器，其特征在于，所述探测器包括单晶硅、复合膜层、热电偶层、绝缘介质层、金属图形层、红外吸收层和高反射散热层；所述复合膜层生长在单晶硅层的上表面，所述热电偶层生长在复合膜层的上面，所述热电偶层由串联的热电偶组成，热电偶材料由重掺杂N型多晶硅与重掺杂P型多晶硅经过结对连接而形成，所述绝缘介质层生长在热电偶层上面，所述金属图形层，形成于所述绝缘介质层上，所述红外吸收层生长在热电堆的热端的上表面，所述高反射散热层生长在热电堆层的冷端的上表面，所述红外探测器的底部设有凹槽，形成隔热腔体。
基本信息
专利标题 ：
一种热电堆红外探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922204396.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-11
授权号 ：
CN210926061U
授权日 ：
2020-07-03
发明人 ：
李吉光李晓坤徐一舟
申请人 ：
杭州福照光电有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市萧山区启迪路198号杭州湾信息港C-810
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922204396.2
主分类号 ：
H01L35/32
IPC分类号 ：
H01L35/32 G01J5/12
法律状态
2020-07-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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