一种晶圆加热器表面温度分布检测装置
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摘要
一种晶圆加热器表面温度分布检测装置，包括底部晶圆、上部晶圆、微型热电偶、可伐合金支架、真空电极与温度监测装置，所述的微型热电偶设置在底部晶圆与上部晶圆之间，所述的底部晶圆与上部晶圆设置在可伐合金支架上，所述的微型热电偶的信号线通过可伐合金支架固定，所述的微型热电偶通过真空电极与温度检测装置相连。本发明晶圆加热器表面温度分布检测装置通过使用双层晶圆、内部加强支架和测温点的精确加工，使用时由于有加强支架，检测装置使用时不易碎裂，使用双层晶圆结构热电偶测温头不易掉落,使用真空电极可以隔绝真空和大气，并通过真空电极将热电偶信号线引到大气侧，通过温度监测装置记录晶圆加热器表面温度分布情况。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆加热器表面温度分布检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922228724.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-13
授权号 ：
CN213022000U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
游利贾坤良
申请人 ：
靖江先锋半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰州市靖江市城南园区德裕路8号
代理机构 ：
靖江市靖泰专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
陆平
优先权 ：
CN201922228724.2
主分类号 ：
G01K7/02
IPC分类号 ：
G01K7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01K
温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件
G01K7/02
利用热电元件，例如热电偶
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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