一种MEMS能量收集器

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摘要

本实用新型属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及一种MEMS能量收集器。本实用新型与背景技术相比具有明显的先进性，此能量收集器是采用MEMS工艺，以键合基板为载体，在外框上设置外框、敏感质量块和组合梁，并与外框吻合连接，在键合基板凹槽对称设置结构一样的永磁体，在敏感质量块上设置检测导线、引线电极和引线，检测组合梁由连接块、活动梁组成，此陀螺能量收集器设计合理简单、易单片集成、使用方便，整体结构合理简单，无需驱动，易小型化，是十分理想的用于收集能量的微型MEMS能量收集器。

基本信息

专利标题：

一种MEMS能量收集器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922234997.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-13

授权号：

CN212585720U

授权日：

2021-02-23

发明人：

李孟委武绍宽张瑞金丽

申请人：

中北大学

申请人地址：

山西省太原市尖草坪区学院路3号

代理机构：

北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

刘莹莹

优先权：

CN201922234997.8

主分类号：

G01C19/5656

IPC分类号：

G01C19/5656 G01C19/5733 H02K35/04 B81B7/02