一种薄膜微压力传感器

授权

摘要

本实用新型公开了一种薄膜微压力传感器，属于压力传感器技术领域。所述薄膜微压力传感器包括相对设置的至少一对膜片，两个膜片的相对面上分别设有QTC材料和探测电极；其中一个膜片可形变、另一个膜片不可形变；可形变的膜片连接有力传导单元，所述力传导单元包括容腔及填充在其中的灌充液；所述力传导单元用于接受外力按压，并将外力传导至可形变的膜片，以使可形变的膜片以连接点为中心产生形变，进而使两个所述膜片相互贴紧或远离。本实用新型利用液体传导各向同性的属性，即便手指作用在传感器膜片的不同位置，或者手指以不同姿势作用在传感器膜片上，都能在灌充液的作用下实现均匀传导的效果，确保测量的准确性和一致性。

基本信息

专利标题：

一种薄膜微压力传感器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922244791.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-13

授权号：

CN210862999U

授权日：

2020-06-26

发明人：

孙坤徐锋李泽峰

申请人：

湃瑞电子科技(苏州)有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区东长路88号N1幢15层1503室

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

王闯

优先权：

CN201922244791.3

主分类号：

G01L1/22

IPC分类号：

G01L1/22