一种镜头污染防控装置、LDI镜头及LDI设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种镜头污染防控装置、LDI镜头及LDI设备，属于光刻机镜头领域。镜头污染防控装置包括壳体和进气管，壳体为筒状结构，筒壁上沿竖直方向开有槽，槽的深度小于筒壁高度；壳体上开有进气口，进气口与槽相通；进气管用于向槽内通入气体以便在成像镜头的下端镜片的表面形成保护气幕。通过在下端镜片的表面形成保护气幕，使得工件上的有机溶剂污染物无法到达成像镜头的下端镜片，从而保护下端镜片不被污染，无法形成污染膜，相对于更换保护镜片的方案，本申请大大降低了维护成本；进一步的，通过抽气孔以及抽气管将下端镜片下方的气体抽走，同时带走气体中的污染物和热量，降低环境温度，使得LDI设备的使用寿命更长。
基本信息
专利标题 ：
一种镜头污染防控装置、LDI镜头及LDI设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922247788.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-13
授权号 ：
CN210954613U
授权日 ：
2020-07-07
发明人 ：
肖燕青王方江陈海巍程珂何伟
申请人 ：
江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市邳州市恒山路西侧
代理机构 ：
哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭素琴
优先权 ：
CN201922247788.7
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-07-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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