光学元件表面非接触式洁净监测及处理系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种光学元件表面非接触式洁净监测及处理系统，包括：光传输管道或箱体；光学元件支撑单元，其设置在光传输管道或箱体的底部；光学元件倾斜设置在光学元件支撑单元上；照明单元，其设置在光学元件支撑单元上；风刀单元，其设置在光学元件支撑单元上，其风刀单元位于光学元件的上边缘；相机监测单元，其设置在光传输管道或箱体的上方，且相机监测单元的照射镜头与光学元件的表面垂直。该光学元件表面非接触式洁净监测及处理系统可以实现对光学元件表面颗粒污染物的实时拍照采样，通过对污染物的粒径及分布信息进行统计，记录表面颗粒污染物的变化情况；该系统采用风刀单元可以实现对光学元件表面颗粒污染物的有效去除。
基本信息
专利标题 ：
光学元件表面非接触式洁净监测及处理系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922250884.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-16
授权号 ：
CN211122584U
授权日 ：
2020-07-28
发明人 ：
牛龙飞周国瑞刘青安苗心向刘昊蒋一岚蒋晓东周海倪卫
申请人 ：
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请人地址 ：
四川省绵阳市科学城绵山路64号
代理机构 ：
北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
贾晓燕
优先权 ：
CN201922250884.7
主分类号 ：
G01N21/94
IPC分类号 ：
G01N21/94 B08B6/00 B08B5/02
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/94
研究污染，例如灰尘
法律状态
2020-07-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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