一种光纤端面微悬臂梁传感器
授权
摘要
本实用新型公开了一种光纤端面微悬臂梁传感器，光纤端面微悬臂梁传感器包括：光纤；悬臂梁结构，通过飞秒激光双光子聚合技术聚合在所述光纤的一端面；所述悬臂梁结构为聚合物结构，悬臂梁结构包括支柱和微悬臂梁；微悬臂梁与光纤的端面平行。本实用新型通过飞秒激光双光子聚合技术制备的光学端面微悬臂梁为聚合物材料，弹性比硅基材料大，可以极大地增大探测灵敏度；制备方法属于增材制造，实现光纤与悬臂梁的一体化，结构紧凑；对光纤本身不造成任何损伤或破坏；同时节省了加工时间，使制造方式更具灵活性。本实用新型提出的用飞秒激光双光子聚合技术固化出的光纤端面微悬臂梁具有小尺寸、高弹性的特点，其可应用于多领域。
基本信息
专利标题 ：
一种光纤端面微悬臂梁传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922256115.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-16
授权号 ：
CN211785115U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
熊聪朱梦廖常锐王义平
申请人 ：
深圳大学
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区南海大道3688号
代理机构 ：
广州粤高专利商标代理有限公司
代理人 ：
刘爱珍
优先权 ：
CN201922256115.8
主分类号 ：
G01N21/45
IPC分类号 ：
G01N21/45
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/41
折射率；影响相位的性质，例如光程长度
G01N21/45
利用干涉量度法，利用纹影方法
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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