一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘

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摘要

本实用新型公开了一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘，包括主支杆，所述主支杆的顶部固定安装有把手，且把手的四周均匀且等间隙分布设置橡胶垫，所述主支杆的底端四侧壁分别设置第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆以及第四连接杆，所述第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆以及第四连接杆的另一端均固定设置竖杆，所述竖杆的底端螺纹安装有连接套筒，所述连接套筒的底端连接设置橡胶垫块，所述橡胶垫块的底部设有与其一体成型结构的吸盘体，所述吸盘体的下表面开设有若干个吸附槽，所述吸附槽的另一端设有贯穿吸盘体的吸附孔，且吸附孔与吸附槽相连通设置。该实用新型可以对多个晶片进行吸附，便于加工，大大地提高晶片的加工效率，操作简单。

基本信息

专利标题：

一种用于多个晶片吸附的真空陶瓷吸盘

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922270335.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-17

授权号：

CN210778534U

授权日：

2020-06-16

发明人：

田光明王波王小波

申请人：

无锡科瑞泰半导体科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区震泽路18号无锡软件园巨蟹座A栋1-102室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201922270335.6

主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/683