扩散陶瓷吸盘

授权

摘要

本实用新型涉及一种真空吸盘设备领域，尤其涉及一种扩散陶瓷吸盘，包括吸盘和固定板，所述吸盘和固定板上都设置有固定孔，所述吸盘通过固定孔固定在固定板上，所述吸盘上设置有吸附腔体，所述吸附腔体上设置有真空孔，所述吸盘底部为凹槽结构，所述凹槽结构包括第一凹槽和第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽内，所述第一凹槽上设置有挡板，所述第一凹槽与真空孔相通形成真空管路，所述固定板与吸盘接触的一面上设置有分片管道，通过把吸附真空管路与硅片分离管路集成在一个整体内部，使得硅片的吸附和分离同时进行，达到了提高工作效率的效果。

基本信息

专利标题：

扩散陶瓷吸盘

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922419949.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-27

授权号：

CN211970996U

授权日：

2020-11-20

发明人：

沈威

申请人：

苏州诚拓机械设备有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市吴中区木渎镇木胥东路25号工业园E6幢

代理机构：

苏州通途佳捷专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

翁德亿

优先权：

CN201922419949.6

主分类号：

B65G47/91

IPC分类号：

B65G47/91