管道清洁装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种管道清洁装置，本实用新型中，管道清洁装置，包括：目标管道，以及与目标管道相连接的至少一条进气管道；目标管道的一端与反应腔室相连接；进气管道用于向目标管道输送清洁气体以清洁目标管道；目标管道内设置有挡流装置，挡流装置的挡流面面对进气管道的出气口。通过与目标管道相连的进气管道向目标管道通入清洁气体，并通过挡流装置扰动气流使清洁气体充分地接触目标管道管壁，能够对目标管道进行彻底地清洁，避免目标管道中的残余物污染反应腔室中的样品。
基本信息
专利标题 ：
管道清洁装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922276407.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-17
授权号 ：
CN211464163U
授权日 ：
2020-09-11
发明人 ：
张传洋
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
代理机构 ：
上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
成丽杰
优先权 ：
CN201922276407.8
主分类号 ：
B08B9/032
IPC分类号 ：
B08B9/032
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/02
清洁管道、管子、管子系统或管道系统
B08B9/027
清洁内表面；去除堵塞物
B08B9/032
靠运动流体的机械作用，例如，靠冲洗
法律状态
2020-09-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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