可升降式喷淋清洗装置
授权
摘要
本实用新型提供一种可升降式喷淋清洗装置，包括传动机构、升降机构和喷淋管道；所述传动机构包括链条、链轮一、可转动地插入清洗仓内的螺杆、固定套设于螺杆上部的链轮二，所述链条依次与链轮一与链轮二相啮合；所述升降机构包括上下贯通的套筒，所述螺杆的下部穿设于套筒内，两者螺纹连接；所述喷淋管道安装于所述套筒的下方；所述链轮一转动带动链条转动并绞动链轮二同步转动，从而带动螺杆转动，实现升降机构连同喷淋管道的升降动作。本实用新型实现了喷淋清洗对不同高度晶圆盒的清洗效果的一致性，保证最佳的清洗效果。
基本信息
专利标题 ：
可升降式喷淋清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922278774.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-18
授权号 ：
CN211587852U
授权日 ：
2020-09-29
发明人 ：
刘国华刘春峰李刚
申请人 ：
荣耀电子材料（重庆）有限公司
申请人地址 ：
重庆市荣昌区板桥工业园荣升路91号
代理机构 ：
深圳市中知专利商标代理有限公司
代理人 ：
张学群
优先权 ：
CN201922278774.1
主分类号 ：
B08B9/28
IPC分类号 ：
B08B9/28 B08B9/34
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/08
清洗容器，如槽的清洗
B08B9/20
使用机器，容器如瓶子、罐被引入机器内或机器上
B08B9/28
机器清洁工作用喷雾，喷气或喷液，带有浸渍或不带浸渍
法律状态
2020-09-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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