一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备

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摘要

一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备，包括激光发射器、透镜单元、MEMS微振镜、反射单元、反馈结构和核心控制器，所述激光发射器发出点激光投射到透镜单元上，形成准直点激光或均匀线激光，投射到所述MEMS微振镜上，生成线结构光或面结构光，部分线结构光或面结构光被反射单元反射至所述反馈结构，反馈结构传输MEMS微振镜位置信息至核心控制器，核心控制器实时控制激光发射器和MEMS微振镜，投射目标图案。本方案通过设置反射单元改变光路，将反馈结构与MEMS微振镜集成在一起，从而缩小设备体积、降低装配难度，具有精度高、装配难度小、一体化程度高及稳定性好的优点。

基本信息

专利标题：

一种基于MEMS微振镜结构的激光扫描生成设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922289168.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-18

授权号：

CN211149067U

授权日：

2020-07-31

发明人：

程进徐乃涛孙其梁李宋泽

申请人：

无锡微视传感科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市锡山经济开发区二泉东路19号集智广场14楼

代理机构：

北京智客联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

杨群

优先权：

CN201922289168.X

主分类号：

G02B26/10

IPC分类号：

G02B26/10 G02B26/08