一种多自由度和长行程的纳米级定位平台
授权
摘要

本实用新型涉及定位平台技术领域,且公开了一种多自由度和长行程的纳米级定位平台,包括大理石底座、直线电机和线圈支架平台,大理石底座的上表面对称固定连接有侧板,直线电机固定安装在两个侧板之间,线圈支架平台安装在直线电机上,直线电机的下方设有刻度杆,且刻度杆固定连接在两个侧板之间,刻度杆上滑动套接有匹配的移动块,移动块与线圈支架平台之间通过移动架固定连接,刻度杆上安装有长行程定位机构;长行程定位机构包括转动连接在两个侧板之间的螺纹杆,且螺纹杆位于刻度杆下方设置。本实用新型方便对线圈支架平台的大行程直线运动距离进行精确控制,进而有效保证定位的精确度。

基本信息
专利标题 :
一种多自由度和长行程的纳米级定位平台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922289673.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-19
授权号 :
CN210865636U
授权日 :
2020-06-26
发明人 :
文杰闫灿
申请人 :
三英精控(天津)仪器设备有限公司
申请人地址 :
天津市武清区开发区福源道北侧创业总部基地C21号楼
代理机构 :
天津协众信创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王力强
优先权 :
CN201922289673.4
主分类号 :
G12B5/00
IPC分类号 :
G12B5/00  B25B11/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G12
仪器的结构零部件,或未列入其他类目的其他设备的类似零部件
G12B
仪器的零部件,或未列入其他类目的其他设备的类似零部件
G12B5/00
仪器或其他设备或其部件的位置或状态的调整,例如,水平调整;倾斜或加速影响的补偿,例如,用于光学仪器的
法律状态
2020-06-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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