一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台
授权
摘要
一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台，包括中心移动平台、固定机构、桥式微位移放大机构、柔性移动副与压电陶瓷；固定机构设于相邻桥式微位移放大机构之间，关于中心移动平台的正负X轴与Y轴对称；桥式微位移放大机构对称设于中心移动平台正负X轴与Y轴上，包括两第一纵梁、两第二纵梁以及多个横梁；两第一纵梁平行间距分布；两第二纵梁间距设于两第一纵梁之间且通过横梁连接第一纵梁；横梁通过柔性移动副连接各纵梁；压电陶瓷设于两第一纵梁的输入端之间；靠近中心移动平台的第二纵梁设有输出端；输出端通过柔性移动副连接中心移动平台与固定机构。本申请提供的解耦微定位平台能够在Micro LED芯片修复过程中，对缺陷位置进行精准定位。
基本信息
专利标题 ：
一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021336276.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-09
授权号 ：
CN212461154U
授权日 ：
2021-02-02
发明人 ：
高健赖文秀陈国聪张揽宇刘亚超钟永彬罗于恒林华文
申请人 ：
广东工业大学
申请人地址 ：
广东省广州市越秀区东风东路729号大院
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
沈闯
优先权 ：
CN202021336276.4
主分类号 ：
G12B5/00
IPC分类号 ：
G12B5/00 B81C1/00 H01L25/075 H01L27/15
IPC结构图谱
G
G部——物理
G12
仪器的结构零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件
G12B
仪器的零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件
G12B5/00
仪器或其他设备或其部件的位置或状态的调整，例如，水平调整；倾斜或加速影响的补偿，例如，用于光学仪器的
法律状态
2021-02-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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