一体式清洗手臂结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种一体式清洗手臂结构，其特征在于，所述清洗手臂包括支架、喷嘴和海绵刷头，所述喷嘴安装在支架上且通过连接管与清洗液供给单元相连，所述海绵刷头通过传动机构与一驱动电机相连，所述驱动电机带动所述海绵刷头旋转，所述海绵刷头的一部分位于所述支架内，其余部分露出在所述支架外。本实用新型将喷嘴集成在清洗手臂的支架上，并在支架中设置驱动电机以带动海绵刷头自身旋转，这样可以准确控制清洗液喷射到晶圆表面的位置，增强海绵刷头的清洗效率，降低晶圆受到污染的风险，保证后续工艺的产品品质。
基本信息
专利标题 ：
一体式清洗手臂结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922289933.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-19
授权号 ：
CN211637488U
授权日 ：
2020-10-09
发明人 ：
徐波谈仁翌
申请人 ：
上海华力集成电路制造有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
代理机构 ：
上海浦一知识产权代理有限公司
代理人 ：
栾美洁
优先权 ：
CN201922289933.8
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B1/04 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2020-10-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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