一种利用石蜡固定碳化硅工件的操作台
授权
摘要
一种利用石蜡固定碳化硅工件的操作台，半导体加工技术领域，其包括配套使用的托盘和基座，托盘采用中空结构，内部形成有储水室。托盘的底部设置有进水口和出水口，对应基座上的进水管和出水管。在使用时，进水管、出水管分别插入到进水口和出水口，不仅可以起到固定托盘的作用，还可以向储水室内输水。在摆好碳化硅工件，浇注液态石蜡时，向储水室内通入热水，保持托盘上表面的温度，使液态石蜡保持流动性，更好地漫延至碳化硅工件周围；液态石蜡分布均匀后，向储水室内通入冷水，即可促进石蜡的迅速固化，将碳化硅工件固定住。该操作台的结构简单，操作方便，在不需要移动托盘的情况下，即可完成利用石蜡固定碳化硅工件的全过程，避免材料的浪费和对工作环境的污染。
基本信息
专利标题 ：
一种利用石蜡固定碳化硅工件的操作台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922299586.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-19
授权号 ：
CN211125594U
授权日 ：
2020-07-28
发明人 ：
马红彬宛鹏
申请人 ：
河南雅利安新材料有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市荥阳市金寨乡金寨村
代理机构 ：
成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张勋
优先权 ：
CN201922299586.7
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-07-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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