一种用于碳化硅打磨加工的石蜡回收装置
授权
摘要
一种用于碳化硅打磨加工的石蜡回收装置,涉及半导体加工技术领域,其包括熔融罐和纯化罐,经过打磨工序之后,固定有工件的工件托盘被整体放入到熔融罐的内腔体内,石蜡在高温下融化,并经由内罐体上的通孔进入到外腔体,而工件和工件托盘则停留在内腔体内,完成分离。随后,石蜡由输液管道输送至纯化罐,在更高温度下,将石蜡中混合的水分蒸发出来,完成对石蜡的纯化。该石蜡回收装置的结构简单,使用方便,能够快速高效地回收石蜡并对石蜡进行纯化,利于对石蜡的循环使用。
基本信息
专利标题 :
一种用于碳化硅打磨加工的石蜡回收装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922299587.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-19
授权号 :
CN211249602U
授权日 :
2020-08-14
发明人 :
马红彬宛鹏
申请人 :
河南雅利安新材料有限公司
申请人地址 :
河南省郑州市荥阳市金寨乡金寨村
代理机构 :
成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
张勋
优先权 :
CN201922299587.1
主分类号 :
B24B41/00
IPC分类号 :
B24B41/00 B24B55/12
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件,比如机架,床身,滑板,床头箱的
法律状态
2020-08-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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