一种碳化硅晶体打磨装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种碳化硅晶体打磨装置，包括底座、支撑杆、水平杆、固定杆、打磨轮和夹持装置，打磨轮转动的设置在底座上，支撑杆固定在底座上，水平杆移动的设置在支撑杆上，固定杆设置在水平杆上，夹持装置设置在固定杆上，夹持装置上夹持住的碳化硅晶体朝向打磨轮，水平杆在支撑杆上移动时带动碳化硅晶体朝向或远离打磨轮移动。使用时，夹持装置夹持住碳化硅晶体，水平杆在支撑杆上移动时带动碳化硅晶体朝向打磨轮移动，准确将碳化硅晶体调节到打磨位置，提高打磨精度和良率。通过采用水平杆和支撑杆的配合，形成机械臂操作，替代人工操作，提高工作效率和生产良率，提高安全性，并且可实现多块晶体同时打磨，降低生产能耗，提高工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种碳化硅晶体打磨装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020721200.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-06
授权号 ：
CN211966998U
授权日 ：
2020-11-20
发明人 ：
么靓刘亚坤张平邹宇
申请人 ：
江苏天科合达半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市经济技术开发区创业路26号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
张博
优先权 ：
CN202020721200.7
主分类号 ：
B24B19/22
IPC分类号 ：
B24B19/22 B24B41/06 B24B27/00 B24B47/22
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B19/00
未包括在其他任一大组的特殊磨削加工的专用机床或装置
B24B19/22
以被磨非金属制品材料性质为特征专门设计的
法律状态
2020-11-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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