本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长装置，包括具有第一腔体的第一主体、至少两个分别具有与第一腔体连通的第二腔体的第二主体、用于为第二腔体加热的加热机构、用于为第一腔体抽真空的抽真空机构、设于第一腔体中的用于承载多个坩埚的载体、设于第一腔体中的用于驱动载体运动的第一驱动机构、用于驱动至少两个坩埚使其同步且一一对应的进出第二腔体的第二驱动机构；第一驱动机构用于驱动载体做间歇性运动，使多个坩埚中的至少两个一一对应的停留在至少两个第二腔体的正下方；第二驱动机构用于在载体停止运动时同步驱动至少两个第二腔体正下方的坩埚使其一一对应的进出第二腔体。本实用新型一种碳化硅晶体生长装置，工艺时间较短，长晶质量较好。