一种多工位碳化硅晶体生长装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型公开了一种多工位碳化硅晶体生长装置,包括至少两个生长机构;每个生长机构均包括装料仓、与装料仓连通的生长腔、可沿装料仓和生长腔的排列方向来回运动的设于装料仓和生长腔中的坩埚、用于驱动坩埚来回运动的驱动机构、用于为生长腔加热的加热机构;装置还包括用于同时为至少两个加热机构供电的电源机构、用于同时为至少两个装料仓抽真空的抽真空机构、设于抽真空机构与每个装料仓之间的隔离阀。本实用新型一种多工位碳化硅晶体生长装置,至少两个晶体生长机构共用电源机构和抽真空机构,不仅能够实现对每个生长腔中坩埚的精确控温以生长出优质的晶体,还节约了晶体生长装置的配置和空间利用,降低了设备成本,有利于规模化生产。
基本信息
专利标题 :
一种多工位碳化硅晶体生长装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921154199.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-22
授权号 :
CN210287583U
授权日 :
2020-04-10
发明人 :
李留臣周正星
申请人 :
江苏星特亮科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市张家港市杨舍镇东莱东黎路8号(星特亮)
代理机构 :
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 :
刘鑫
优先权 :
CN201921154199.8
主分类号 :
C30B29/36
IPC分类号 :
C30B29/36 C30B23/00
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2021-02-05 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C30B 29/36
登记生效日 : 20210126
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 江苏星特亮科技有限公司
变更后权利人 : 延安星特亮科创有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 215627 江苏省苏州市张家港市杨舍镇东莱东黎路8号(星特亮)
变更后权利人 : 716000 陕西省延安市宝塔区宝塔区新材料高新技术产业园区6号
登记生效日 : 20210126
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 江苏星特亮科技有限公司
变更后权利人 : 延安星特亮科创有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 215627 江苏省苏州市张家港市杨舍镇东莱东黎路8号(星特亮)
变更后权利人 : 716000 陕西省延安市宝塔区宝塔区新材料高新技术产业园区6号
2020-04-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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