一种新型碳化硅晶体生长装置

专利权质押合同登记的生效、变更及注销

摘要

本实用新型公开了一种新型碳化硅晶体生长装置，包括炉体；所述炉体上侧安装有上盖，所述上盖中间位置设置有通孔，所述上盖上侧设置有籽晶杆，且籽晶杆底端穿过通孔伸入炉体内部，所述炉体外侧设置有外壳，所述外壳外侧安装有陶瓷外壳，所述炉体内部安装有加热板，所述加热板设置为石墨烯板，所述加热板通过固定栓固定在外壳内部，所述加热板与控制开关电性连接，所述控制开关安装在陶瓷外壳外侧，所述炉体内部低端安装有隔板，所述隔板底端安装有热保护器，且热保护器的探头穿过隔板伸入炉体内部，热保护器与加热板以串联的方式将进行连接。该实用新型在加工过程中，通过热保护器维持炉内的温度稳定，方便快捷，并且灵敏度较高。

基本信息

专利标题：

一种新型碳化硅晶体生长装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920509278.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-16

授权号：

CN210065979U

授权日：

2020-02-14

发明人：

郭士贤

申请人：

深圳市优越新材料有限公司

申请人地址：

广东省深圳市龙岗区宝龙街道宝龙社区宝龙五路2号尚荣科技工业园1号厂房201（D3区）

代理机构：

深圳倚智知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

霍如肖

优先权：

CN201920509278.X

主分类号：

C30B29/36

IPC分类号：

C30B29/36 C30B35/00