一种晶硅炉保温装置及晶硅炉
授权
摘要

本实用新型公开了一种晶硅炉保温装置及晶硅炉,所述保温装置包括:石墨筒、保温层、加固层、保护层;所述保温层包围在所述石墨筒的外侧,包括石墨软毡;所述加固层设置在所述保温层外侧,用于固定所述保温层;所述保护层包围在设置有所述加固层的所述保温层的外侧;所述石墨筒与所述保护层形成沿所述石墨筒轴向两侧开口的夹层空间,所述夹层空间的两侧开口均采用密封层密封。本实用新型在保证保温装置的保温性能的同时,提供了一种便于拆装的保温装置,并且密封性较好,防止其中的保温材料氧化。

基本信息
专利标题 :
一种晶硅炉保温装置及晶硅炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922310294.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-20
授权号 :
CN211199476U
授权日 :
2020-08-07
发明人 :
刘军波刘彥彪牛照伦
申请人 :
宁晋晶兴电子材料有限公司
申请人地址 :
河北省邢台市宁晋县高新技术开发区
代理机构 :
北京市万慧达律师事务所
代理人 :
顾友
优先权 :
CN201922310294.9
主分类号 :
C30B35/00
IPC分类号 :
C30B35/00  C30B29/06  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B35/00
未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的装置
法律状态
2020-08-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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