一种螺纹滚轮和一种刻蚀装置
授权
摘要
本实用新型公开一种螺纹滚轮和一种刻蚀装置，其中螺纹滚轮包括：滚轮本体；外螺纹，其设于所述滚轮本体的外周面上，所述外螺纹的螺纹深度为大于等于3毫米且小于等于4毫米。此结构的一种螺纹滚轮，由于硅片在刻蚀槽内反应过程中会产生气泡，气泡会影响硅片的背抛效果，通过设置螺纹滚轮的螺纹深度为大于等于3毫米且小于等于4毫米，即螺纹深度较深，可将气泡切割成较小的气泡而储存在外螺纹的凹陷部内，随着硅片脱离螺纹滚轮后气泡会被释放出来，避免了外螺纹的凹陷部无法储存全部的气泡而造成多余的气泡在硅片上炸开以导致过度刻蚀以及硅片的水膜被震落使得减重下降、自补给量大的情况出现，从而获得较佳的背抛效果。
基本信息
专利标题 ：
一种螺纹滚轮和一种刻蚀装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922312720.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-20
授权号 ：
CN211045456U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
吴章平崔水炜
申请人 ：
苏州昊建自动化系统有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区漕湖大道48号
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐律
优先权 ：
CN201922312720.2
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
