一种小尺寸伯努利吸盘
授权
摘要
本实用新型公开了光伏行业技术领域的一种小尺寸伯努利吸盘，包括吸盘芯主体，所述吸盘芯主体的上部安装有上盖板，所述吸盘芯主体通过上盖板与真空发生器连接，所述吸盘芯主体的下部安装有下盖板，所述上盖板的上表面开有压缩空气进口，所述下盖板的下表面开有压缩空气射出口，所述吸盘芯主体的内壁设有吸盘芯，所述吸盘芯的内部开有通气结构，结构简单，吸附稳定，尺寸小，可从卡匣中吸取晶圆，能吸取小的标签，小形电子元气器件，射出口倾斜设置，有效避免吸盘芯和工件之间被污染，并减少吸盘附着物对晶圆的划伤，通过螺牙孔对吸盘芯更换方便。
基本信息
专利标题 ：
一种小尺寸伯努利吸盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922313956.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-20
授权号 ：
CN210722986U
授权日 ：
2020-06-09
发明人 ：
华俊义
申请人 ：
昆山迈瑞凯精密工业有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市昆山开发区雄鹰路276号5号房1F
代理机构 ：
上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李敏
优先权 ：
CN201922313956.8
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L31/18
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2020-06-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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