本实用新型公开半导体材料加工技术领域的一种半导体材料加工用超声波清洗装置，包括底座、超声波发生器和暖风机，所述底座底部设置有水箱，所述水箱顶部设置有清洗机壳，所述活动板顶部中央设置有清洗固定件，所述清洗机壳底部内壁左右侧均设置有分流管，本实用新型两组安装盘同步绕安装轴进行圆周运动，进而使固定的半导体材料进行圆周运动，方便清洗多组半导体材料，同时在进行圆周运动时，通过接触齿轮和固定齿轮的啮合，实现从动杆的自转，进而带动通过夹持板固定的半导体材料自转，方便清洗单组半导体材料上不同范围，大大提高了超声波发生器的分散质量和分散效率，也大大提高了清洗的质量和效率，使半导体材料清洗不会存在死角。