一种单晶硅转移装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种单晶硅转移装置。包括:支撑架;载棒台,其设置在所述支撑架的一侧,用于承托单晶硅棒;滚外周装置,其设置在所述载棒台的对侧,用于对单晶硅棒进行滚外周检测;以及夹持装置,其通过位置调节机构与所述支撑架活动连接,用于夹取所述单晶硅棒;位置调节机构,其设置在所述夹持装置与支撑架之间,用于调整夹持装置在支撑架上的位置;其中,所述夹持装置包括;框架,其包括上框体、下框体和设置在所述上框体与下框体之间的连接杆组成;上托架;下托架。本实用新型的有益效果是:能够夹持和移动单晶硅棒。

基本信息
专利标题 :
一种单晶硅转移装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922345510.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-24
授权号 :
CN211140628U
授权日 :
2020-07-31
发明人 :
潘连胜林博洋
申请人 :
锦州神工半导体股份有限公司
申请人地址 :
辽宁省锦州市太和区解放西路94号
代理机构 :
北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
周婷
优先权 :
CN201922345510.3
主分类号 :
B65G35/00
IPC分类号 :
B65G35/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G35/00
其他类不包含的机械输送机
法律状态
2020-07-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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