一种蓝宝石长晶炉

授权

摘要

本实用新型提供了一种蓝宝石长晶炉，通过设置特定位置的保护气体入气管道及相应的出气口，使通入的保护气体可形成炉盖与坩埚盖之间的杂质排斥区，包围着籽晶杆以及晶体生长界面与外界唯一的连通口，即坩埚盖上的籽晶杆插入口，将携有杂质的气流完全隔离在排斥区外，从而实现对杂质所处区域的有效控制，防止其进入坩埚内影响结晶过程，该区域内的钨钼材料也可隔绝氧气不被氧化产生杂质，有效保证了长晶过程中蓝宝石晶体晶格的正常排列，减少晶体缺陷，提升晶体质量及成品良率，同时坩埚盖上的籽晶杆插入口以及其上方大范围热场的清洁度也得到提高，热场的使用寿命延长。

基本信息

专利标题：

一种蓝宝石长晶炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922348794.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-24

授权号：

CN211546720U

授权日：

2020-09-22

发明人：

齐凡陈建明

申请人：

福建晶安光电有限公司

申请人地址：

福建省泉州市安溪县湖头镇横山村光电产业园

代理机构：

北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

陈敏

优先权：

CN201922348794.1

主分类号：

C30B29/20

IPC分类号：

C30B29/20 C30B17/00