一种多晶硅生产废气处理系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种多晶硅生产废气处理系统，包括：与废气排出管道连接的第一废气缓冲罐；与所述第一废气缓冲罐的输出端连接的吸附塔；其中，所述吸附塔内设置有吸附柱，所述吸附柱中填充有活性炭，所述吸附塔通过所述活性炭将所述废气排出管道输出废气中的氯硅烷吸附。通过采用吸附塔中填充活性炭吸收废气中的硅烷，替换传统的废气淋洗处理，由于废气必须全部通过活性炭，使得能够充分接触充分被吸收，在保证废气百分百达标排放的同时，由于整个处理过程采用的是物理处理法，不会发生化学反应，减少了的热量的产生以及化学药品的投入以及后续对含氯废水的处理，被吸附的硅烷还能够被回收，增加收益的同时降低了环境风险。
基本信息
专利标题 ：
一种多晶硅生产废气处理系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922389219.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-26
授权号 ：
CN212262801U
授权日 ：
2021-01-01
发明人 ：
彭中袁中华游书华
申请人 ：
内蒙古通威高纯晶硅有限公司
申请人地址 ：
内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区荣华大街1号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘新雷
优先权 ：
CN201922389219.6
主分类号 ：
B01D53/04
IPC分类号 ：
B01D53/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/02
通过吸附作用，例如，制备气相色谱法
B01D53/04
用固定的吸附剂
法律状态
2021-01-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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