一种生产多晶硅的废气回收系统

授权

摘要

本实用新型公开了一种生产多晶硅的废气回收系统，其包括氢气源、氯硅烷储罐、精馏塔、第一冷凝器、储液罐、缓存罐、冷氢化系统、第一氢压机、第二冷凝器和第二氢压机。有益效果：本实用新型连接关系简单，易实现，实现了氢气的回收利用，避免了浪费，减少了生产成本，同时也实现了氯化氢和氯硅烷的回收利用，避免了废气外排污染了环境。

基本信息

专利标题：

一种生产多晶硅的废气回收系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921690513.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-10

授权号：

CN210736226U

授权日：

2020-06-12

发明人：

黄俊颜泽亮韩继文虎登慧

申请人：

内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司

申请人地址：

内蒙古自治区鄂尔多斯市鄂托克旗棋盘井镇工业园区

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921690513.4

主分类号：

C01B33/107

IPC分类号：

C01B33/107 C01B7/07 C01B3/56 C01B33/035 B01D53/04 B01D53/18