一种防静电监测系统
授权
摘要
本实用新型涉及一种防静电监测系统，它包括第一线路(1)、第二线路(2)和接地线路(3)，所述第一线路(1)上设置有切割电机(4)和第一电阻R1，所述第二线路(2)上设置有切割平台(5)和第二电阻R2，所述接地线路(3)上设置有接地电阻R，所述第一线路(1)和第二线路(2)相互并联后与接地线路(3)相串联。本实用新型能够对半导体切割设备的防静电接地线路实现实时监控，一旦发生开路、短路等异常故障，可立即通知操作人员及时处理，避免造成设备在失去防静电接地系统的保护下继续生产，对产品质量造成不良影响。
基本信息
专利标题 ：
一种防静电监测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922395117.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-27
授权号 ：
CN212083638U
授权日 ：
2020-12-04
发明人 ：
石巍王继东
申请人 ：
江苏长电科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市江阴市江阴高新区长山路78号
代理机构 ：
北京中济纬天专利代理有限公司
代理人 ：
赵海波
优先权 ：
CN201922395117.5
主分类号 ：
G01R31/58
IPC分类号 ：
G01R31/58 G01R31/52 G01R31/54
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/58
测试线路、电缆或导体
法律状态
2020-12-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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