用于并行测试机台的针座装置
授权
摘要

本申请公开了一种用于并行测试机台的针座装置,涉及半导体测试领域。该针座装置至少包括接线盒、接线面板、探针卡面板、两组接线柱和两组转换柱;两组接线柱设置在接线面板上;接线盒内设置有两组转换柱,第1组转换柱与第2组转换柱连接;第1组转换柱与探针卡面板连接;第2组转换柱中的第i个转换柱与第1组接线柱中的第i个接线柱、第2组接线柱中的第j个接线柱分别连接,i=1,2,……,n;j=1,2,……,n;i+j=n+1;解决了现有的针座装置需要使用两类探针卡,使用成本高的问题;并行测试机台上使用本申请实施例提供的针座装置,可以只采用一类探针卡,达到提高探针卡的通用性和利用率,降低成本的效果。

基本信息
专利标题 :
用于并行测试机台的针座装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922414998.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-27
授权号 :
CN211652958U
授权日 :
2020-10-09
发明人 :
王雅静尹彬峰吴奇伟
申请人 :
上海华力集成电路制造有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 :
上海浦一知识产权代理有限公司
代理人 :
罗雅文
优先权 :
CN201922414998.0
主分类号 :
G01R1/073
IPC分类号 :
G01R1/073  G01R31/26  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线;测量探针
G01R1/067
测量探针
G01R1/073
多个探针
法律状态
2020-10-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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