一种四氯化硅尾气直冷回收装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种四氯化硅尾气直冷回收装置，包括装有液体四氯化硅的冷却吸收罐和通过循环泵连接用于冷却冷却吸收罐内液体四氯化硅的制冷机组；还包括尾气分配台和与尾气分配台连通的热交换罐，热交换罐内装有低温的液体四氯化硅，热交换罐顶部设有气相四氯化硅出口与冷却吸收罐顶部的气相四氯化硅入口连通，冷却吸收罐底部设有液体四氯化硅出口与热交换罐连通，热交换罐与液体四氯化硅收集罐连通，冷却吸收罐顶部还设有四氯化硅尾气出口。本实用新型将四氯化硅尾气直接输入回收装置，经制冷机组和热交换罐冷却后，尾气中四氯化硅从气相转变为液相，液态四氯化硅回收利用，减少尾气排放与处理量，降低尾气处理成本，回收效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种四氯化硅尾气直冷回收装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922423968.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-30
授权号 ：
CN211513970U
授权日 ：
2020-09-18
发明人 ：
张辉俊罗全安何寿林
申请人 ：
武汉新硅科技潜江有限公司
申请人地址 ：
湖北省潜江市潜江经济开发区盐化一路西37号
代理机构 ：
武汉今天智汇专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
邓寅杰
优先权 ：
CN201922423968.6
主分类号 ：
B01D53/00
IPC分类号 ：
B01D53/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
法律状态
2020-09-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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