一种改善薄膜厚度调整的分区控温装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种改善薄膜厚度调整的分区控温装置，其特征在于，包括一模口，在所述模口上设置有若干加热区域，每一加热区域均匀分布设置在所述模口的外圈，每一加热区域上设置有与感温线连接的感温孔，所述感温线一端与所述感温孔连接，另一端与控温单元连接，所述控温单元通过控制线与一加热电柜连接且所述加热电柜通过加热线与每一加热区域连接。本实用新型的有益效果在于：利用本实用新型能够进行厚度控制，可借鉴传统螺栓调节的不足，实现小区域精细调整。

基本信息

专利标题：

一种改善薄膜厚度调整的分区控温装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922439469.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-30

授权号：

CN211698728U

授权日：

2020-10-16

发明人：

胡仲杰岑婵芳劳侃侃袁凯

申请人：

宁波沥高复合材料有限公司

申请人地址：

浙江省宁波市杭州湾新区滨海五路188号

代理机构：

上海天翔知识产权代理有限公司

代理人：

徐家豪

优先权：

CN201922439469.6

主分类号：

G05D23/19

IPC分类号：

G05D23/19