本发明涉及半导体刻蚀设备中的静电卡盘系统。本发明可分区控温的静电卡盘系统包括静电卡盘和温度控制系统，其中所述在静电卡盘内设有至少两个同心布置、且各自独立的流通冷却液的环形通道，每个环形通道上设有位于同一直径上的冷却液流入口和冷却液流出口，所述温度控制系统是其中设有分别与各个环形通道相通的冷却液路的多路温度控制系统。本发明的有益效果是：通过控制每一环形通道内冷却液的温度，就实现了对静电卡盘上不同位置温度的控制。所以可以根据使用者的设定，使静电卡盘的不同区域呈现不同温度。