静电卡盘装置
授权
摘要
本发明提供一种静电卡盘装置，其具备：载置台，具有载置板状试样的载置面；静电吸附用电极，位于所述载置台的下侧且所述搭载面的相反面侧；基底部，搭载所述载置台及所述电极；聚焦环，包围所述载置台的周围且连续或被分割为2个以上；及提升销，使所述聚焦环的整体或至少一部分相对于所述基底部上升且能够沿上下方向移动。
基本信息
专利标题 ：
静电卡盘装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108140606A
申请号 ：
CN201680061236.3
公开（公告）日 ：
2018-06-08
申请日 ：
2016-10-21
授权号 ：
CN108140606B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
森谷义明牧恵吾河野仁安藤和人金原勇贵
申请人 ：
住友大阪水泥股份有限公司
申请人地址 ：
日本国东京都
代理机构 ：
上海立群专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨楷
优先权 ：
CN201680061236.3
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H02N13/00
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2018-07-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/683
申请日 : 20161021
申请日 : 20161021
2018-06-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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