静电卡盘

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摘要

本发明涉及一种具有双电极的静电卡盘。本发明静电卡盘包括绝缘层和设置在绝缘层内的电极，其中电极包括正电极和负电极，所述正电极和负电极拼接在一起形成圆形，正电极由位于中央位置的圆形部分和与该圆形部分一体的偶数个均匀分布的扇形部分组成。本发明的静电卡盘的优点和积极效果在于：由于正电极和负电极拼接在一起形成圆形，负电极由位于中央位置的圆形部分和与该圆形部分一体的偶数个均匀分布的扇形部分组成，所以在整圆的360度范围内，均匀分布，且严格对称，很好地实现了静电引力的均匀对称性，不会让晶片出现向一边倾斜的现象。

基本信息

专利标题：

静电卡盘

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1851897A

申请号：

CN200510126348.6

公开（公告）日：

2006-10-25

申请日：

2005-12-07

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

吉美爱

申请人：

北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

申请人地址：

100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

王常风

优先权：

CN200510126348.6

主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/687