本发明涉及一种静电卡盘，包括绝缘层和基座，其特征在于，在绝缘层上设有由若干个圆形通路连通若干条对称布置的半径通路，最外圈的圆形通路至静电卡盘外边缘之间均匀布置若干条放射通路，放射通路与最外圈的圆形通路连通，在半径通路的中心交叉点设置有中心气孔，在放射通路与圆形通路的交接处设有外缘气孔。本发明的静电卡盘边缘部分的放射通路，有效地增加了边缘部分的气体的流通，确保了晶片边缘的温度可以足够的降低，实现晶片在整个平面内达到温度均匀。而让气体从中心气孔和若干边缘气孔同时流出，更快地扩散气体，提高了效率，又提高了温度的均匀性。