静电卡盘

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摘要

本发明涉及一种带加热器的、且表面绝缘层为烧结陶瓷的静电卡盘。本发明的静电卡盘包括基座、盘面绝缘层以及位于基座和盘面绝缘层之间的加热器，其中所述盘面绝缘层上邻近基座侧设有凹槽，所述加热器镶嵌在该凹槽内，盘面绝缘层上的凹槽壁部分形成用于保护加热器的保护环。本发明的静电卡盘的优点和积极效果在于：由于保护环为与盘面绝缘层一体结构，即保护环为陶瓷材料制成，陶瓷材料的抗腐蚀性能远远大于环氧树脂，所以本发明中的加热器得到了更充分的保护，故使用寿命长，因此也延长了静电卡盘的使用寿命。

基本信息

专利标题：

静电卡盘

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1848404A

申请号：

CN200510126383.8

公开（公告）日：

2006-10-18

申请日：

2005-12-08

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

刘利坚

申请人：

北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

申请人地址：

100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

蔡世英

优先权：

CN200510126383.8

主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/683