本发明涉及静电卡盘安装拆卸工具，包括固定支撑部件和安装在固定支撑部件上的安装运动部件，所述固定支撑部件包括支撑板和等距安装在支撑板上的四个支撑杆，所述安装运动部件包括静电卡盘安装架，在静电卡盘安装架的中心连接有具有螺杆的旋转手柄，所述螺杆穿过支撑板并与支撑板通过螺纹连接。该工具结构简单，使用安全可靠，操作人员只需经过简单培训即可进行静电卡盘的安装拆卸，静电卡盘安装拆卸过程中可有效控制颗粒污染程度，提高了静电卡盘的安装拆卸稳定性。