一种静电卡盘

授权

摘要

本实用新型涉及一种静电卡盘，包括基座和绝缘层，绝缘层设置在基座上；绝缘层包括第一绝缘层和第二绝缘层，第一绝缘层位于第二绝缘层的上方；还包括电极层，电极层位于第一绝缘层和第二绝缘层之间，电极层包括若干分区，每个分区可独立对晶片进行吸附。本实用新型通过采用每个分区对晶片进行独立吸附，减小每次吸附的面积，从而减少气泡的形成，提升晶片的平整度，提升晶片的质量，防止晶片的破裂，提升晶片的合格率。

基本信息

专利标题：

一种静电卡盘

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021313945.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-07

授权号：

CN212991066U

授权日：

2021-04-16

发明人：

杨鹏远王建冲张玉利侯占杰王超星黎远成何宏庆樊文凤唐娜娜

申请人：

北京华卓精科科技股份有限公司

申请人地址：

北京市大兴区经济技术开发区经海路156号院10号楼4层

代理机构：

北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

陈亚英

优先权：

CN202021313945.6

主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/683