静电卡盘的湿法清洗
授权
摘要
用于清洗新的或用过的静电卡盘的非－破坏性并且简单的方法，包括湿法清理过程，其将沉积在静电卡盘表面上的污染物除去。
基本信息
专利标题 ：
静电卡盘的湿法清洗
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101094733A
申请号 ：
CN200580045503.X
公开（公告）日 ：
2007-12-26
申请日 ：
2005-11-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
H·什黄拓川C·周B·莫瑞尔B·麦科米林P·穆尔格鲁A·阿弗彦
申请人 ：
兰姆研究公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
任宗华
优先权 ：
CN200580045503.X
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B3/10 B08B6/00 B08B3/14 B08B7/00 B08B7/02 B08B3/00 C23G1/02 B08B5/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2010-06-16 ：
授权
2008-02-20 ：
实质审查的生效
2007-12-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN101094733B.PDF
PDF下载
2、
CN101094733A.PDF
PDF下载
