一种超声波自动清洗装置
授权
摘要
本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，且公开了一种超声波自动清洗装置，包括超声清洗箱，超声清洗箱的顶部设置有液压缸，液压缸的输出端固定连接有垫板，垫板的顶部设置有伺服电机，伺服电机的输出端固定连接有转轴，转轴的底部固定连接有内箱，内箱的表面开设有通孔，内箱的内底壁和内顶壁均固定连接有隔板，内箱的内部设置有海绵球。该超声波自动清洗装置，通过伺服电机、转轴、内箱和通孔可以使硅片在超声清洗箱内的清洗液中转动，防止清洗时废液中的附着物粘附在硅片的表面，海绵球还可以去除硅片表面的污物，通过设置弹簧、夹板和卡置口可以防止硅片在内箱内部发生碰撞导致硅片损坏。
基本信息
专利标题 ：
一种超声波自动清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922440603.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-30
授权号 ：
CN211538795U
授权日 ：
2020-09-22
发明人 ：
李名权
申请人 ：
李名权
申请人地址 ：
广东省广州市白云区石槎路1165号302房
代理机构 ：
北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张铁兰
优先权 ：
CN201922440603.4
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B13/00 B08B3/14 A61L2/10
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-09-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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